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技術(shù)文章

射頻電源的組成與特性說明
    射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成。采用晶體管設(shè)計，具有能耗低、體積小、使用壽命長、性能穩(wěn)定等優(yōu)點。內(nèi)置信號源也可外接信號源、增益0-100%可調(diào)，可通過面板、RS232接口、Sub-25模擬接口對設(shè)備進行控制，配備免費軟件。面板可顯示和調(diào)節(jié)頻率、設(shè)定功率、正向功率、反射功率、負載功率。具有過壓、過流、過反射、過溫等保護措施。配備自動阻抗匹配器，匹配范圍廣，匹配速度極快。

    功率等級：100W、300W、600W、1200W、2400W

    輸出頻率：13.56MHz、40KHz、380KHz、450KHz、2MHz、27.12MHz、40.68MHz

    應(yīng)用領(lǐng)域：等離子Plasma清洗、刻蝕、涂層、焊接等


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